質譜儀是檢漏儀的核心部分
      我們所稱呼的“質譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核心部分。氣體從檢漏 儀的入口被導入質譜儀單元。在這里用高能量的電子束對帶電的氣 體粒子進行撞擊（圖 1，紫色）。電子束利用金屬絲在高溫下產 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊，它會從電子層脫出。結 果，帶正電的氣體粒子—離子—留了下來。大部分導入的氣體粒子
被電子之間的碰撞電離。